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掩膜版又被稱為光罩、光掩膜,是光刻工藝中的關(guān)鍵耗材,從應(yīng)用角度可以分為半導(dǎo)體掩膜板和平板顯示掩膜板。有相關(guān)機構(gòu)研究表明,2025年中國平板顯示掩膜版市場規(guī)模全球占比有望超過60%。有業(yè)內(nèi)人士強調(diào),盡管我國掩膜版行業(yè)發(fā)展速度很快,但是存在產(chǎn)業(yè)鏈斷層的情況,關(guān)鍵原材料和設(shè)備仍然比較被動。
關(guān)鍵性的原材料包括石英基板材料、遮光膜等仍然依賴進口。掩模版的上游材料是經(jīng)過加工后的合成石英板,實際上我國并不缺少合成石油產(chǎn)能,但是在掩膜基材出廠后還需要經(jīng)過研磨、拋光等幾個精加工環(huán)節(jié),在這一方面,我國的相關(guān)技術(shù)還不能達(dá)到市場要求。全球具備掩膜基板精加工的企業(yè)只有日本和韓國兩家公司,迫使掩膜版生產(chǎn)廠商只能進口精加工后的基板。
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